Panoramica del prodotto
L'apparecchiatura RTP automatica compatibile con wafer da 8-12 pollici, caratterizzata da design a cavità singola/doppia-e progettata specificamente per la produzione di massa. Integrando robot e altri componenti, consente il caricamento, la ricottura e il raffreddamento dei wafer completamente automatizzati. Può interfacciarsi con i sistemi di gestione della produzione e supportare diversi processi per un singolo contenitore di wafer. Con un controllo preciso della temperatura e un funzionamento stabile (tasso di rottura del wafer inferiore o uguale a 1/10000), include molteplici protezioni di sicurezza ed è adatto per processi di ricottura ad alta precisione nei semiconduttori e in altri campi.
Caratteristiche
Disponiamo di opzioni di attrezzatura che coprono diverse larghezze e conteggi di camere, tutte offrendo prestazioni costanti in tutti i parametri chiave.
Funziona sia con le configurazioni Open Cassette che SMIF, gestendo automaticamente l'intero processo-dalla mappatura e allineamento al trasferimento del wafer, ricottura e raffreddamento.
Il software ti consente di scegliere ricette preimpostate su misura per i singoli wafer nella stessa cassetta, mantenendoti aggiornato sullo stato dell'elaborazione-in tempo reale.
Questo sistema completamente automatizzato si integra perfettamente con l'infrastruttura EAP/MES esistente per un coordinamento più fluido del flusso di lavoro.
Durante l'installazione e il debug, i nostri-tecnici post-vendita saranno sul-luogo per fornire assistenza pratica-e risolvere eventuali problemi che si presentano.
Vantaggi
- Utilizzando doppie lampade alogene a infrarossi per il riscaldamento, abbinate al rapido raffreddamento ad azoto, il sistema vanta una circolazione termica efficiente e stabile.
- Un design dedicato del raggruppamento delle lampade garantisce una temperatura più uniforme in tutta l'area di lavorazione.
- Un-algoritmo di controllo PID integrato consente la regolazione-in tempo reale della potenza della lampada, mantenendo un controllo preciso della temperatura durante tutto il processo.
- La gestione dell'accesso utente a tre-livelli garantisce un controllo pratico e sicuro delle informazioni. L'interfaccia principale del software visualizza parametri chiave come la portata del gas, la temperatura e il livello di vuoto in tempo reale, fornendo una chiara panoramica dello stato.
- Il sistema salva automaticamente tutti i dati relativi al processo-per una facile tracciabilità futura.
- È dotato di un meccanismo completo di protezione dalle anomalie che attiva immediatamente la protezione non appena rileva un guasto, incluso surriscaldamento (camera in lega di alluminio raffreddata ad acqua-maggiore o uguale a 70 gradi), letture anomale della termocoppia, potenza di riscaldamento anomala, porta del forno sbloccata, pressione eccessiva del gas, flusso d'acqua insufficiente e perdite d'acqua.
- Una funzione di arresto di emergenza può essere attivata con un solo pulsante, interrompendo immediatamente tutti i processi e interrompendo la fonte di calore.
Parametri
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Modello |
RTP-200 |
RTP-300 |
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Dimensione del wafer |
8 pollici e inferiori 12 pollici e inferiori |
8 pollici e inferiori 12 pollici e inferiori |
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Numero della camera |
1 |
2 |
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Caricare il numero della cassetta |
2 |
2 o 3 |
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Caricare la cassetta Metodo |
SMIF o cassetta aperta |
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Misurare |
1600 mm×2450 mm×2200 mm (W×D×H) |
2100 mm×2450 mm×2200 mm (W×D×H) |
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Intervallo di temperatura |
RT~~800 gradi (controllato da termocoppia) 500 gradi ~1250 gradi (controllato da pirometro) |
RT~~800 gradi (controllato da termocoppia) 500 gradi ~1250 gradi (controllato da pirometro) |
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Velocità di riscaldamento massima |
150 gradi/s---Solo wafer 20 gradi/s---portante SiC 30 gradi/s---Rivestimento portante in grafite SiC |
150 gradi/s---Solo wafer 20 gradi/s---portante SiC 30 gradi/s---Rivestimento portante in grafite SiC |
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Uniformità della temperatura |
Inferiore o uguale a ±3 gradi @ Inferiore o uguale a 600 gradi Inferiore o uguale a ±0,5% a >600 gradi |
Inferiore o uguale a ±3 gradi @ Inferiore o uguale a 600 gradi Inferiore o uguale a ±0,5% a >600 gradi |
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Ripetibilità della temperatura |
±1 grado |
±1 grado |
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Numero di lampade/SCR |
33 pezzi / 10 set |
45 pezzi / 16 set 55 pezzi / 24 set |
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MFC massimo |
6 |
6 |
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Pressione più bassa |
30mTorr |
30mTorr |
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Tasso di perdita |
10 mTorr/min |
10 mTorr/min |
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O2Percentuale |
<1 ppm |
<1 ppm |
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Automatico |
OCR+Robot(doppio braccio)+Dita(Vacuum/Bernoulli)+Allineatore+Stazione di raffreddamento |
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WPH(Previsione) |
5 |
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Tempo di attività |
＞92% |
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Tempo medio di pulizia (MTTC) |
Meno o uguale a 6 ore |
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Tempo medio di riparazione (MTTR) |
Meno o uguale a 4 ore |
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Tempo medio tra i guasti (MTBF) |
Maggiore o uguale a 200 ore |
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Wafer medi tra rotture (MWBB) |
Meno o uguale a 1 su 10.000 wafer |
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Potenza massima/media |
90/60 chilowatt (ATS-8) 100/80 chilowatt (ATS-12) |
180/120 chilowatt (DTS-8) 200/160 chilowatt (DTS-12) |
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Voltaggio |
380 V/ 60 HZ/ Trifase 5 fili |
380 V/ 60 HZ/ Trifase 5 fili |
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Metodo di controllo |
Controllo PC |
Controllo PC |
Domande frequenti
L'apparecchiatura RTP automatica è compatibile con wafer da 8/12 pollici? Il passaggio alla produzione fino a 12 pollici richiede la sostituzione delle apparecchiature?
Pienamente compatibile. L'incremento richiede solo la regolazione dei parametri del software; non è necessaria alcuna sostituzione delle apparecchiature, riducendo i costi.
Può integrarsi con i sistemi EAP/MES esistenti? Influirà sulla linea di produzione?
È possibile un'integrazione perfetta. Gli ingegneri forniranno il debug-in loco, migliorando l'efficienza e la coerenza della linea di produzione.
È possibile impostare processi diversi per lo stesso contenitore di wafer? L'operazione è complicata?
Supporta "più processi per botte". L'interfaccia software consente una facile selezione e impostazione, senza richiedere ulteriore formazione.
Esiste una protezione di sicurezza in caso di emergenza? Danneggerà i wafer o ferirà il personale?
Dispone di arresto di emergenza e protezione automatica del rilevamento dei rischi per salvaguardare sia i wafer che il personale.
Certificazione
◆ Certificazione di Conformità SEMI S2
Etichetta sexy: apparecchiature rtp automatiche, produttori di apparecchiature rtp automatiche in Cina, fornitori
