Panoramica del prodotto

Questa macchina litografica senza maschera, in poche parole, è una macchina in grado di incidere motivi complessi su materiali senza "maschera". È più flessibile e conveniente-rispetto alla tradizionale litografia a stencil e consente regolazioni rapide del modello, rendendolo adatto alla ricerca, alla produzione di piccoli-lotti e all'insegnamento.

È disponibile in quattro modelli principali:

1. La macchina litografica senza maschera nella versione da ricerca è adatta per la ricerca di laboratorio, gestisce materiali da 6 pollici ed è in grado di incidere modelli fino a 0,4 micrometri, offrendo un'elevata precisione;

2. La versione ad alta-velocità della macchina per litografia senza maschera è destinata alla produzione di piccoli-lotti e gestisce materiali da 8 pollici a velocità eccezionalmente elevate, fino a 2500 millimetri quadrati al minuto;

3. La macchina litografica senza maschera versione educativa è un piccolo modello desktop, di soli 2 pollici di dimensione, ideale per l'insegnamento in classe e facile da usare;

4. La versione di formato ultra-grande in grado di gestire materiali da 2-metri, soddisfacendo specifiche esigenze di lavorazione su larga scala.

Che si tratti di realizzare minuscoli componenti di chip, chip microfluidici per esperimenti biologici o dimostrazioni educative, esiste un modello in grado di soddisfare le tue esigenze, facendoti risparmiare tempo e denaro eliminando la necessità della maschera.

Se desideri sapere come utilizzare un particolare modello, o quale modello scegliere per un determinato tipo di scenario di lavorazione, contatta la nostra azienda. Te lo spiegheremo nel dettaglio utilizzando la brochure del prodotto.

Vantaggi

Design flessibile, nessuna necessità di maschere

Precisione dimensionale critica fino a 400 nm

Velocità fino a 1200 mm2/min

Area di esposizione fino a 4 m2

Litografia in scala di grigi fino a 4096 livelli

Parametri

Modello	MLM 100	MLM 200	MLM 300
Dimensione critica	0.8 μm	0.4 μm
Linee e spazi minimi	1.0 μm	0.8 μm
Velocità di esposizione	Lente①:3 mm²/min Lente②:20 mm²/min Lente③:100 mm²/min	Lente①:1 mm²/min Lente②:3 mm²/min Lente③:20 mm²/min Lente④:100 mm²/min	Lente①:10 mm²/min Lente②:60 mm²/min Lente③:150 mm²/min
Precisione di sovrapposizione (5 mm × 5 mm)	400 nm	350 nanometri
Precisione di sovrapposizione (50 mm × 50 mm)	1000 nm	700 nm
Lunghezza d'onda	LED:405 nm/380 nm	LED:405 nm/390 nm
Commutazione automatica dell'obiettivo	Supportato
Scala di grigi	Opzionale	Supportato	Non-facoltativo
Dimensione del substrato	3 mm × 3 mm (min) e 150 mm × 150 mm (max)
Spessore del substrato	0-10 mm
Formato dei dati	GDS, DWG e DXF
Dimensioni (L×L×A)	750 mm×800 mm×700 mm	1150 mm×950 mm×2000 mm
Peso	320 chilogrammi	590 chilogrammi
Requisiti di installazione	Superficie totale: 1,5 mx 1,5 m Potenza:1,3Kw; Temperatura: 20–30 gradi; Umidità: umidità relativa 40-60% Alimentazione:220 V ±5%, 50 Hz ±1 Hz, 10 A	Superficie totale: 2,2 m × 1,7 m Potenza:1,4Kw; Temperatura: 20–30 gradi; Umidità: umidità relativa 40-60% Alimentazione:220 V ±5%, 50 Hz ±1 Hz, 10 A

Modello	MLM 400	MLM 500
Dimensione critica	1.0 μm	0.5 μm
Linee e spazi minimi	2.0 μm	0.5 μm
Velocità di esposizione	Obiettivo①:1000 mm²/min Obiettivo②:2500 mm²/min	Lente①:75 mm²/min Lente②:300 mm²/min Obiettivo③:1200 mm²/min
Precisione di sovrapposizione (5 mm × 5 mm)	500 nm	250 nm
Precisione di sovrapposizione (50 mm × 50 mm)	1000 nm	500 nm
Lunghezza d'onda	LD:405 nm/375 nm
Commutazione automatica dell'obiettivo	Supportato
Scala di grigi	Opzionale
Dimensione del substrato	3 mm × 3 mm (min) e 200 mm × 200 mm (max)
Spessore del substrato	0-10 mm
Formato dei dati	GDS, DWG e DXF
Dimensioni (L×L×A)	1700×1300×1950
Peso	1400 chilogrammi
Requisiti di installazione	Superficie totale: 2,7 m × 2,3 m Potenza:2,4Kw; Temperatura: 20–26 gradi; Umidità: umidità relativa 40-60% Alimentazione:220 V ±5%, 50 Hz ±1 Hz, 16 A

Domande frequenti

Qual è il più grande vantaggio di questa macchina rispetto alle tradizionali macchine litografiche?

Elimina la necessità di "maschere" (i modelli utilizzati nella litografia tradizionale). Le modifiche al modello vengono apportate direttamente nel software, risparmiando sui costi e sui tempi di preparazione del modello. Ciò semplifica notevolmente la produzione di prova in piccoli lotti e la ricerca di nuovi progetti.

Quanto bene può incidere? I diversi modelli hanno una precisione diversa?

La precisione dipende dal modello: la versione per la ricerca può incidere fino a 0,4 micrometri, la versione ad alta-velocità 0,5 micrometri e la versione didattica 1,5 micrometri, che è sufficiente per la maggior parte della ricerca e della produzione quotidiana.

Quali materiali di dimensioni può gestire?

I materiali più piccoli includono la versione didattica (2 pollici, circa 5 cm), la versione di ricerca (6 pollici) e la versione ad alta-velocità (8 pollici). Per materiali ultra-più grandi, sono disponibili modelli in grado di incidere fino a 2 metri, adatti a sensori di grandi dimensioni e display flessibili.

Quanto è veloce? È adatto per la produzione in piccoli-lotti?

La versione ad alta-velocità può incidere fino a 2500 millimetri quadrati al minuto, sufficienti per la produzione in piccoli-lotti. La versione di ricerca privilegia la precisione, ma la sua velocità soddisfa anche le esigenze sperimentali senza lunghi tempi di attesa.

Oltre ai materiali standard, può incidere materiali speciali?

Può incidere diamanti, fibre ottiche e persino pale curve di piccoli motori. Può anche essere dotato di un vano portaoggetti per gestire materiali sensibili all'acqua e all'ossigeno (come Micro-LED e ossidi magnetici).

Può essere utilizzato nell'insegnamento scolastico? Esistono modelli adatti?

È disponibile una versione educativa. Ha le dimensioni di un desktop-, è facile da utilizzare ed è perfetto per consentire agli studenti di esercitarsi sui principi della fotolitografia. La precisione di 1,5 micron è sufficiente per gli esperimenti didattici.

La fonte di luce è fissa? Può essere cambiato?

L'impostazione predefinita è la luce ultravioletta da 405 nm. Per esigenze particolari è possibile selezionare altre lunghezze d'onda (come 380 nm e 375 nm) senza sostituire l'intera unità.

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